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布魯克Bruker JVX7300LSI 半導(dǎo)體計量儀
名稱：其他儀器與工具
品牌：
型號：
簡介：布魯克Bruker JVX7300LSI 半導(dǎo)體計量儀是專在線監(jiān)控半導(dǎo)體材料的研發(fā)和生產(chǎn)過程。它使全自動描述許多先進材料的半導(dǎo)體行業(yè)。標準配置是JVX7300L,實現(xiàn)掃描HRXRD XRR,XRD、GI-XRD WA-XRD。具有全自動光學(xué)...
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- 產(chǎn)品介紹
布魯克Bruker JVX7300LSI 半導(dǎo)體計量儀是專們在線監(jiān)控半導(dǎo)體材料研發(fā)生產(chǎn)過程的一款儀器。布魯克Bruker JVX7300LSI 半導(dǎo)體計量儀全自動分析許多先進材料。標準配置是JVX7300L,實現(xiàn)掃描HRXRD XRR,XRD、GI-XRD WA-XRD。具有全自動光學(xué)來源,系統(tǒng)可以切換標準XRD,高分辨率,和x射線反射率模式無需用戶干預(yù),甚至在同一配方批。布魯克Bruker JVX7300LSI 半導(dǎo)體計量儀完全自動化的校準、測量、分析和報告的結(jié)果可以確保生產(chǎn)和快速描述薄膜。允許平面x射線衍射測量,可以添加可選的信息通道。
布魯克Bruker JVX7300LSI 半導(dǎo)體計量儀升級為HRXRD s通道的結(jié)構(gòu)，HRXRD圖案結(jié)構(gòu),通道可以添加。這提供了一種高分辨率束50µmx50µm樣品,連同完整的模式識別,并允許測試結(jié)構(gòu)的測量有圖案的晶片。主要應(yīng)用:FinFET表征,包括外延層；III-V如果未來的節(jié)點上的發(fā)展；氮化鎵對Si的功率晶體管；High-K厚度、密度和結(jié)晶度；所有應(yīng)用程序都是通過我們的綜合分析軟件套件進行分析模擬。
如果您需要布魯克Bruker JVX7300LSI 半導(dǎo)體計量儀及布魯克品牌儀器、或者其他品牌儀器，均可聯(lián)絡(luò)我司銷售部門：0731-84284278 84284378。
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